반응형 뉴스5 펠리클 개발 현황 ASML을 조사하면서 EUV 노광장비 중 펠리클이 매우 핵심적인 역할을 하는 것을 알게 되었다. ASML이 여러 대기업들의 러브콜을 받는 이유가 펠리클 때문이라고 생각하게 되었는데, 국내에서 ASML 수준의 펠리클 개발이 예상되는 뉴스를 찾게 되었다. 상용화 가능한 수준의 펠리클 개발에 성공한다면 ASML이 독점하고 있던 시장의 흐름이 조금은 바뀌지 않을까 싶다. 에스앤에스텍 투과율 90% 펠리클 개발 성공 현재 투과율 90%의 펠리클 개발이 가능한 곳은 AMSL 한 곳이다. 이 때문에 AMSL이 EUV 노광 장비를 독점하다시피 하고 있다. 그런데 국내의 에스앤에스텍 업체에서 투과율이 평균 89~90%의 투과율을 가진 펠리클 개발에 성공했다고 발표했다. 현재 ASML과 펠리클의 품질 테스트를 논의 중이라.. 2021. 10. 13. 이전 1 2 다음 반응형